ナノスケール微粒子の2次薄膜集積法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：西澤利夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995242237
Publication number (International publication number)：1997092617
Application date： Sep. 20, 1995
Publication date： Apr. 04, 1997
Summary：

【要約】【課題】 LB法のように展開用分子を必要とすることなく、直接的に固体基板上にナノスケール微粒子の集積薄膜を形成する。【解決手段】イオン強度の制御によって電解質液膜中の荷電粒子に対するポテンシャルエネルギーを2次極小化してナノスケールの2次薄膜を形成し、これにナノスケール微粒子を閉じ込めて集積する。

Claim (excerpt)：

イオン強度の制御によって電解質液膜中の荷電微粒子に対するポテンシャルエネルギーを2次極小としてナノスケールの2次薄膜を形成し、この2次薄膜中にナノスケール微粒子を閉じ込めて集積することを特徴とするナノスケール微粒子の2次薄膜集積法。

IPC (5)：

H01L 21/20 , B01J 19/00 , H01L 21/368 , H01L 51/00 , H01L 49/00

FI (5)：

H01L 21/20 , B01J 19/00 M , H01L 21/368 L , H01L 49/00 , H01L 29/28

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

2次元粒子薄膜製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-289983 Applicant：新技術事業団, 永山国昭
粒子薄膜の製造法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-129840 Applicant：新技術事業団
ナノメートル粒子の結晶化方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-231838 Applicant：新技術事業団, 永山国昭, 吉村英恭

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