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J-GLOBAL ID：200903016836011731

金、銀、又は銅の金属微粒子の製造方法

Inventor： 本多 克也 ,  佐野 正人 ,  山田 修輔
Applicant, Patent owner： 科学技術振興事業団 ,  東ソー株式会社
Agent (1)： 田中 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996089942
Publication number (International publication number)：1997256140
Application date： Mar. 21, 1996
Publication date： Sep. 30, 1997
Summary：

【要約】【目的】基板表面上に蒸着法によって金、銀又は銅の金属微粒子を得るに際し、蒸着した金粒子同士の合体の進行を抑制して、固体基板上に均一に分散した金の微粒子を製造する方法を提供することを目的とする。【構成】基板表面上に蒸着法によって金、銀又は銅の金属微粒子を製造するに当たり、ヨウ素を存在させることを特徴とする金、銀又は銅の金属微粒子の製造方法である。

Claim (excerpt)：

基板表面上に蒸着法によって金、銀、又は銅の金属微粒子を製造するに当たり、ヨウ素を存在させることを特徴とする金、銀又は銅の金属微粒子の製造方法。

IPC (2)：

C23C 14/14 ,  C23C 14/22

FI (2)：

C23C 14/14 D ,  C23C 14/22 Z