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J-GLOBAL ID：200903016855179511

感光性組成物

Inventor： 中瀬 真 ,  木原 尚子 ,  後河内 透 ,  内藤 卓哉 ,  斎藤 聡
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995235633
Publication number (International publication number)：1997080753
Application date： Sep. 13, 1995
Publication date： Mar. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】 化学放射線に対して高い感度及び高解像性を有するとともに、十分なドライエッチング耐性を備え、かつパターン形成の工程を通じて、環境雰囲気に対する耐性を有する感光性組成物を提供する。【解決手段】 下記化1に示す一般式(1)で表わされる化合物と、化学放射線の照射によって酸を発生する化合物とを含有することを特徴とする感光性組成物である。【化1】(上記一般式(1)中、Arはベンゼン環または縮合芳香環、Xは2価の有機基、Yは水素原子または1価の有機基、Zは1価の有機基またはハロゲン原子、Rは酸によって分解する置換基、aおよびbは0または正の整数、mおよびnは、m+n=1の関係を満たす0から1までの間の数である。)

Claim (excerpt)：

下記化1に示す一般式(1)で表わされる化合物と、化学放射線の照射によって酸を発生する化合物とを含有することを特徴とする感光性組成物。【化1】(上記一般式(1)中、Arはベンゼン環または縮合芳香環、Xは2価の有機基、Yは水素原子または1価の有機基、Zは1価の有機基またはハロゲン原子、Rは酸によって分解する置換基であり、aおよびbは0または正の整数、mおよびnは、m+n=1の関係を満たす0から1までの間の数である。)

IPC (2)：

G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

FI (2)：

G03F 7/039 501 ,  H01L 21/30 502 R