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J-GLOBAL ID：200903016857909274

光源装置、露光装置およびデバイス製造方法

Inventor： 川原 信途
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001163633
Publication number (International publication number)：2002359173
Application date： May. 31, 2001
Publication date： Dec. 13, 2002
Summary：

【要約】【課題】 露光光を発生する光源装置のシャッタ反射光によるトラブルを防ぐ。【解決手段】 露光光を発生するランプ1は、集光ミラー2とともにランプ室3に収容され、モータ5によって回転するシャッタ羽根4はシャッタ室6に収容される。シャッタが閉じたときのシャッタ反射光によってシャッタ室6内が昇温するのを防ぐため、シャッタ反射光を導光管7によって、シャッタ室6の傍に配設された暗箱8内へ導き、その内部で拡散板8bによって拡散される。

Claim (excerpt)：

照明光を発生する光源と、前記照明光を選択的に遮光するシャッタと、前記照明光の光路の側傍に配設された暗箱と、前記シャッタが閉じたときのシャッタ反射光を前記暗箱に導くための導光手段を有する光源装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  G02B 19/00 ,  G02B 26/02 ,  G03F 7/20 521

FI (4)：

G02B 19/00 ,  G02B 26/02 B ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 E

F-Term (12)：

2H041AA04 ,  2H041AB02 ,  2H041AB05 ,  2H041AC01 ,  2H041AC04 ,  2H041AZ01 ,  2H052BA01 ,  2H052BA06 ,  2H052BA12 ,  5F046CB05 ,  5F046CB06 ,  5F046CB22