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J-GLOBAL ID：200903016882149969

露光装置およびデバイス製造方法

Inventor： 伊藤 博之
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997122788
Publication number (International publication number)：1998303115
Application date： Apr. 28, 1997
Publication date： Nov. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】 スループットの向上、温度調性手段の排除、合せ不良の未然防止および後での検証の容易化を図る。【解決手段】 露光装置において、露光される基板3の温度を測定するためのセンサ6aを設け、その測定温度に応じて、倍率補正手段9,10により投影光学系8の投影倍率を補正する。また、測定温度を記憶して、後の工程で発見される合せ不良の原因の究明に役立てる。また、測定温度が所定の許容範囲内にないときは、その旨を出力する。

Claim (excerpt)：

露光位置において基板を保持するステージおよびこのステージ上に前記基板を搬送するためのアームを有し、露光される基板の温度を測定するためのセンサが前記ステージ上あるいはアーム上に設けられていることを特徴とする請求項1記載の露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3)：

H01L 21/30 516 E ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 G

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭63-164212
  
• 特開昭59-009916
  
• 特開昭63-001029