三次元パターン形成用感光性組成物、及びそれを用いた三次元パターン形成方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002307851
Publication number (International publication number)：2004144869
Application date： Oct. 23, 2002
Publication date： May. 20, 2004
Summary：

【目的】レーザー光線の三次元走査露光により、三次元造形や三次元記録等の三次元パターンの形成を効率的に行うことができると共に、精度、解像性にも優れた三次元パターンを形成することができる三次元パターン形成用感光性組成物、及びそれを用いた三次元パターン形成方法を提供する。【構成】レーザー光線の三次元走査露光により三次元パターンを形成するための感光性組成物であって、下記の(A)成分、及び(B)成分からなる三次元パターン形成用感光性組成物、及び、該三次元パターン形成用感光性組成物を、350〜1,300nmの波長域のレーザー光線により、パターン形成面での光強度密度を9.5×103 W/cm2 以上として三次元走査露光することにより三次元パターンを形成する三次元パターン形成方法。(A)レーザー光線の光を吸収して熱に変換する光熱変換物質(B)感光性成分

Claim (excerpt)：

レーザー光線の三次元走査露光により三次元パターンを形成するための感光性組成物であって、下記の(A)成分、及び(B)成分を含有してなることを特徴とする三次元パターン形成用感光性組成物。 (A)レーザー光線の光を吸収して熱に変換する光熱変換物質 (B)感光性成分

IPC (5)：

G03F7/029 , B29C67/00 , C08F2/50 , G03F7/004 , G03F7/20

FI (5)：

G03F7/029 , B29C67/00 , C08F2/50 , G03F7/004 503Z , G03F7/20 505

F-Term (64)：

2H025AA04 , 2H025AB20 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025CA00 , 2H025CC11 , 2H025FA10 , 2H097AA03 , 2H097BB01 , 2H097BB02 , 2H097CA17 , 2H097FA01 , 2H097LA15 , 2H097LA16 , 4F213AA37 , 4F213AA44 , 4F213AB14 , 4F213WA25 , 4F213WB01 , 4F213WL02 , 4F213WL23 , 4F213WL25 , 4F213WL44 , 4J011AA05 , 4J011AC04 , 4J011QA01 , 4J011QA02 , 4J011QA03 , 4J011QA04 , 4J011QA05 , 4J011QA06 , 4J011QA08 , 4J011QA09 , 4J011QA12 , 4J011QA13 , 4J011QA14 , 4J011QA15 , 4J011QA17 , 4J011QA18 , 4J011QA23 , 4J011QA24 , 4J011QA26 , 4J011QA27 , 4J011QA42 , 4J011RA01 , 4J011RA11 , 4J011SA01 , 4J011SA21 , 4J011SA62 , 4J011SA64 , 4J011SA74 , 4J011SA76 , 4J011SA78 , 4J011SA82 , 4J011SA85 , 4J011SA86 , 4J011SA87 , 4J011SA88 , 4J011UA02 , 4J011VA05 , 4J011VA10 , 4J011WA07

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