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J-GLOBAL ID：200903016906843470

XYステージ

Inventor： 久保田 紀行
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993191040
Publication number (International publication number)：1995046818
Application date： Aug. 02, 1993
Publication date： Feb. 14, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】ガイドレス平面ステージを3つのアクチュエータで駆動することにより、2軸ステージを軽量高剛性化し、高速化を図る。【構成】ベース1と、ベース1上にベース1の面と平行な平面内で任意の位置及び姿勢がとれるように2次元空気軸受け2にて支持された移動テーブル3と、移動テーブル3にその合力がベース1の面と平行な平面内で直交方向及び回転方向に作用するように配置した3個のボイスコイルモータ4,5,6と、移動テーブル3のY方向移動範囲に渡る長さの目盛りをX方向移動範囲に渡って有するメインスケールで構成されるリニアスケール7及びX方向移動範囲に渡る長さの目盛りをリニアスケール7方向移動範囲に渡って有するメインスケールで構成されるリニアスケール8,9,とを含んで構成される。

Claim (excerpt)：

ベースと、前記ベース上にベース面と平行な平面内で任意の位置及び姿勢がとれるように支持された移動テーブルと、前記移動テーブルに作用しその合力がベース面と平行な平面内で直行方向及び回転方向に発生するように配置したN個(N≧3)のアクチュエータと、前記移動テーブルの位置及び姿勢を測定する計測手段と、前記計測手段からの情報を基にN個のアクチュエータを駆動する制御部とを含むことを特徴とするXYステージ。

IPC (5)：

H02K 41/02 ,  B25J 9/02 ,  B25J 9/10 ,  B65H 5/04 ,  G05D 3/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特公昭58-501931
  
• 特開昭61-293149