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J-GLOBAL ID：200903016912556165

光ヘテロダイン干渉計装置

Inventor： 飯島 仁
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 日比谷 征彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001137516
Publication number (International publication number)：2002333304
Application date： May. 08, 2001
Publication date： Nov. 22, 2002
Summary：

【要約】【課題】 偏光ビームスプリッタの偏光成分間の漏れ光の影響を最小にする。【解決手段】 無偏光ビームスプリッタ42で分離されたレーザー光は直線偏光子55を通過することで、偏光ビームスプリッタ43の透過光に生じている漏れ光と同じ周波数成分を抽出する。次に、1/2波長板56により偏光方位を偏光ビームスプリッタ43の漏れ光の偏光方位と同じ方向に調整する。更に、可変式強度フィルタ58により強度を調整し、ハーフミラー44により参照光光路に合成される。このとき、測定光を遮光板46などの手段で遮断し、参照光に含まれる漏れ光による誤差ビートを光検出器52で観測する。誤差ビート信号が最小になるように、ミラー59、ハーフミラー44が置かれた測定ステージ60を調整することで補正光の光路長を変化させ位相を変化させて、可変強度フィルタ58を誤差ビートが最小になるように調整する。この状態で、先に遮断しておいた測定光の遮光板46を光路から取り除いて測定する。

Claim (excerpt)：

干渉計に入射する前の2周波直交直線偏光から偏光ビームスプリッタの漏れ光と同じ周波数成分の光の一部を抜き出し、その偏光方位を前記偏光ビームスプリッタの漏れ光の偏光方位と等しく前記偏光ビームスプリッタの偏光成分間の漏れ光と位相が180度異なりかつ強度が等しいように調整した補正光と、該補正光を測定すべきヘテロダインビート信号と重ね合わせ、前記偏光ビームスプリッタの偏光分離特性の不完全さによる偏光成分間の漏れ光を打ち消す機能を有することを特徴とする光ヘテロダイン干渉計装置。

F-Term (17)：

2F064AA15 ,  2F064CC03 ,  2F064EE01 ,  2F064FF01 ,  2F064GG11 ,  2F064GG22 ,  2F064GG23 ,  2F064GG32 ,  2F064GG38 ,  2F064GG39 ,  2F064GG40 ,  2F064GG53 ,  2F064GG55 ,  2F064GG59 ,  2F064GG70 ,  2F064HH06 ,  2F064JJ05