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J-GLOBAL ID：200903016912836486
位置決め装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992036574
Publication number (International publication number)：1993232265
Application date： Feb. 24, 1992
Publication date： Sep. 07, 1993
Summary：
【要約】【目的】 被駆動体を変形させることなく被駆動体を任意の向きに位置決めすることを可能にする。【構成】 定盤1の開口には被駆動体2が挿入される。定盤1の内側壁の上端部には、被駆動体2のフランジ部2bをそれぞれx軸方向およびy軸方向から非接触に支持する、x案内用静圧軸受12およびy案内用静圧軸受13が設けられる。定盤1の内側壁のうちx軸に垂直な側壁の下部には、x固定部材6、x駆動用圧電素子3およびx駆動用静圧軸受9が順次固定されており、被駆動体2の側壁の下部を非接触で支持する。同様に、定盤1の内側壁のうちy軸に垂直な側壁の下部には、y固定部材7、y駆動用圧電素子4およびy駆動用静圧軸受10が固定されるとともに、定盤1の内底壁には、z固定部材8、z駆動用圧電素子5およびz駆動用静圧軸受11が固定されており、被駆動体2は定盤1に非接触で支持される。
Claim (excerpt)：
基準面となる一面に開口を有する定盤と、前記一面に対して任意の向きに位置決めされる被位置決め面を上方に向け、前記被位置決め面が前記一面と平行になるように前記定盤の開口に挿入される被駆動体と、前記定盤の開口の内側壁の、前記定盤の一面と平行な面に含まれかつ互いに直交する2つの軸方向からそれぞれ前記被駆動体を挟む部位に設けられ、前記被駆動体を非接触に支持する第1の支持手段と、前記被駆動体の底部を非接触で支持する第2の支持手段を介して、前記被駆動体を前記2つの軸に直交する方向に移動させるz軸駆動手段と、前記被駆動体の側面のうち、前記2つの軸のうちの1つの軸に垂直な面の、前記第1の支持手段により支持される部位とは前記2つの軸に直交する方向に異なる部位を、非接触で支持する第3の支持手段を介して、前記被駆動体を前記1つの軸方向に付勢するx軸駆動手段と、前記被駆動体の側面のうち、前記2つの軸のうちの他の軸に垂直な面の、前記第1の支持手段により支持される部位とは前記2つの軸に直交する方向に異なる部位を、非接触で支持する第4の支持手段を介して、前記被駆動体を前記他の軸方向に付勢するy軸駆動手段とを有することを特徴とする位置決め装置。
IPC (4)：
G12B 5/00
, B23Q 1/02
, B23Q 3/18
, B23Q 5/22
