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J-GLOBAL ID：200903016919922540

希ガスの精製方法

Inventor： 北原 宏一 ,  大塚 健二 ,  武政 登 ,  脇 弘
Applicant, Patent owner： 日本パイオニクス株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992288478
Publication number (International publication number)：1994135707
Application date： Oct. 27, 1992
Publication date： May. 17, 1994
Summary：

【要約】【目的】希ガス中に不純物として含まれる窒素、炭化水素、一酸化炭素、二酸化炭素、酸素、水素、水蒸気などを除去し高純度の希ガスを得る。【構成】不純物を含有する希ガスをジルコニウム、バナジウムおよびタングステンからなる三元合金ゲッター材と加熱下に接触させる。

Claim (excerpt)：

希ガスをジルコニウム、バナジウムおよびタングステンからなる三元合金のゲッター材と加熱下に接触させて、該希ガス中に含まれる不純物を除去することを特徴とする希ガスの精製方法。

IPC (4)：

C01B 23/00 ,  B01D 53/02 ,  B01D 53/14 ,  B01J 20/02