導波路型グレーティング及びその製造方法並びにその導波路型グレーティングを用いた光フィルタ及び波長多重光伝送システム

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：宮田金雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996076327
Publication number (International publication number)：1997269427
Application date： Mar. 29, 1996
Publication date： Oct. 14, 1997
Summary：

【要約】【課題】十分高い屈折率変化が得られる導波路型グレーティングを得、この導波路型グレーティングを適用して高性能の光フィルタと波長多重光伝送システムを得ることを目的とする。【解決手段】基板1上に、主成分をSiO2とし、Ge、Ti、B、P、Tiの少なくとも1つ以上のドープ元第を含有した石英を、CVD(化学気駄成膜)法で成膜し、所定の導波路幅に形成してなるコア層3と、コア層3を取り囲み、主成分がSiO2の石英を、CVD法で成膜してなるクラッド層2、4とを備えた光導波路6に光を光を照射してコア層3の屈折率を変化させてグレーーィング5を形成する。

Claim (excerpt)：

基板、この基板上に、主成分をSiO2としてGe、Ti、B、P、Tnの少なくとも1つ以上のドープ元素を含有した石英を、CVD(化学気相成膜)法で成膜し、所定の導波路幅に形成してなるコア層と、このコア層を取り囲み、主成分がSiO2の石英を、CVD法で成膜してなるクラッド層とを備えた光導波路に光を照射して上記コア層の屈折率を変化させてグレーーィングを形成したことを特特とする導波路型グレーティング。

IPC (3)：

G02B 6/122 , G02B 6/12 , G02B 6/13

FI (3)：

G02B 6/12 D , G02B 6/12 F , G02B 6/12 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

光導波路、その導波路部材、及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-026605 Applicant：住友電気工業株式会社
光導波路およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-039927 Applicant：日立電線株式会社
石英系光導波路およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-247516 Applicant：東海ゴム工業株式会社

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