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J-GLOBAL ID：200903016950179456
イオン源装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
安田 敏雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995181740
Publication number (International publication number)：1997035649
Application date： Jul. 18, 1995
Publication date： Feb. 07, 1997
Summary：
【要約】【課題】 加速電圧と抑制電圧とが各々印加される第1電極1と第2電極2とが、両電極1・2の各周縁間に絶縁筒体4を設けて固定支持されるイオン源装置において、第1電極1を通過して第2電極2に衝突したイオンや、このイオンによるスパッタリング現象で発生したスパッタ粒子が半径方向に飛散して絶縁筒体に衝突する。これによって絶縁筒体が汚染され絶縁劣化が生じるため、その交換を必要とするが、従来は、その交換に伴い経費の高騰を招来している。【解決手段】 絶縁筒体4を、筒本体9と、この筒本体9の内面に着脱可能な内筒10とから成る二重構造とする。これにより、絶縁筒体4が汚染され絶縁劣化が生じたときの交換作業は、内筒10を交換するだけで済むので、作業が簡単になると共に、製作費もより安価になる。
Claim (excerpt)：
アークチャンバ内で生成したイオンを引き出すために、イオンの引出し方向に沿って第1電極と第2電極とが順次配設され、これら電極の各周縁間に絶縁筒体を設けて両電極を固定支持するイオン源装置において、上記絶縁筒体が、筒本体とこの筒本体の内面に着脱可能な内筒とから成ることを特徴とするイオン源装置。
IPC (2)：
FI (2)：
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