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J-GLOBAL ID：200903016979059255

物理量センサおよび物理量センサシステム

Inventor： 嶋田 智 ,  鵜飼 征一
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高田 幸彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993159497
Publication number (International publication number)：1995012667
Application date： Jun. 29, 1993
Publication date： Jan. 17, 1995
Summary：

【要約】【目的】高精度、高信頼性のセンサ、センサシステムを提供すること。【構成】一つの被測定量を測定するための検出原理が異なる主センサと補助センサ、一体化集約形成したセンサの一部に診断、校正作業を行うアクチュエ-タ及び信号処理回路をマイクロマシニング、高密度実装の技術を利用して一つの筐体に複合集約形成する。【効果】センサの長寿命化とシステムの高信頼化、及びデ-タの高精度化を図ることができる。

Claim (excerpt)：

入力物理量に対し、相異なる検出原理によって前記入力物理量を検出する複数のセンサを一体的に形成したことを特徴とする物理量センサ。

IPC (3)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 9/12 ,  G01L 27/00