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J-GLOBAL ID：200903017006317850

顕微鏡のケーラ照明光学系

Inventor： 堀川 嘉明
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 篠原 泰司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992209182
Publication number (International publication number)：1994059100
Application date： Aug. 05, 1992
Publication date： Mar. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】 軟X線顕微鏡にケーラ照明を実現することが目的である。 【構成】 レンズL<SB>1 </SB>とレンズL<SB>2 </SB>により光源S<SB>1 </SB>の二次光源S<SB>2 </SB>を形成し、二次光源S<SB>2 </SB>の直後に設けたゾーンプレートZにより、二次光源からの光を試料T面上に照射するようにしてある。レンズL<SB>2 </SB>の焦点距離f<SB>2 </SB><pとすることで、二次光源S<SB>2 </SB>を形成する光線の主光線4を収束光線にし、ゾーンプレートZの開口数NA<SB>Z </SB>に比較してコンデンサーとしての大きな開口数NAを実現している。レンズL<SB>1 </SB>をゾーンプレート、斜入射反射鏡、レンズL<SB>2 </SB>をゾーンプレート、ピンホールのある遮光板に代えても、本発明のケーラ照明光学系を構成できる。

Claim (excerpt)：

顕微鏡のケーラ照明光学系において、ゾーンプレートによって2次光源からの光を試料上に照射するようにしたことを特徴とする顕微鏡のケーラー照明光学系。

IPC (3)：

G21K 7/00 ,  G02B 21/00 ,  G21K 1/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭59-007325
  
• 特開平1-134300
  
• 特開平1-128000