回折格子パターン

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001237431
Publication number (International publication number)：2002055217
Application date： Sep. 07, 1988
Publication date： Feb. 20, 2002
Summary：

【要約】【課題】回折格子からなる各ドットを形成する際、ドット毎にマスクを変更したりする必要がなく同一条件であり、パターン作製の簡便化を図ると共に、各ドット内の回折格子を、その空間周波数,方向,曲率などを適宜に変化させることによって、表現が多彩な回折格子パターンを提供する。【解決手段】回折格子からなる微小なドットが、回折格子の空間周波数,回折格子の方向,各ドットが配置されるピッチ,各ドットの並び方の少なくとも何れかが変化して、基板表面に複数配置されて表現される回折格子パターンにおいて、全てのドットを、同一形状・同一の大きさとする。

Claim (excerpt)：

回折格子からなる微小なドットが、回折格子の空間周波数,回折格子の方向,各ドットが配置されるピッチ,各ドットの並び方の少なくとも何れかが変化して、基板表面に複数配置されて表現される回折格子パターンにおいて、回折格子は電子ビーム露光により描画され、内部に回折格子が形成されて輪郭が規定される全てのドットが、同一形状・同一の大きさであることを特徴とする回折格子パターン。

IPC (2)：

G02B 5/18 , G02B 27/09

FI (2)：

G02B 5/18 , G02B 27/00 E

F-Term (5)：

2H049AA33 , 2H049AA60 , 2H049AA66 , 2H049AA68 , 2H049AA69

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (20)

特許第4568141号
特公昭27-000642
特許第3515459号

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