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J-GLOBAL ID：200903017048072394
複数の電極を有するカンチレバーおよびその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002186495
Publication number (International publication number)：2004028830
Application date： Jun. 26, 2002
Publication date： Jan. 29, 2004
Summary：
【課題】製造が容易であるとともに、多機能で微細な構造を有する複数の電極を有するカンチレバーおよびその製造方法を提供する。【解決手段】カンチレバーの先端部に微小間隔を有する複数の対向する電極を形成した複数の電極を有するカンチレバーの製造方法において、探針を形成するためのカンチレバー1を用意し、カンチレバー1上に酸またはアルカリに対して容易に溶ける第1の層2を形成し、第1の層2上にホトレジスト3を形成してホトリソエッチングによりストライプ3Aを形成し、ストライプ3Aを形成した上に電子線励起堆積法によりアモルファス・カーボン4を堆積させ、ブリッジを形成し、このアモルファス・カーボン4をマスクとして前記第1の層2の一部を除去し、エアーギャップ6を有する対向電極5が形成されるカンチレバー1を作製する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
カンチレバーの先端部に微小間隔を有する複数の対向する電極を形成したことを特徴とする複数の電極を有するカンチレバー。
IPC (3)：
G01N13/16
, B81B3/00
, B81C1/00
G01N13/16 C
, B81B3/00
, B81C1/00
