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J-GLOBAL ID：200903017077136644

感放射線性樹脂組成物およびその層間絶縁膜への使用

Inventor： 西村 功 ,  鈴木 正睦 ,  米沢 文子 ,  遠藤 昌之
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999157463
Publication number (International publication number)：2000347397
Application date： Jun. 04, 1999
Publication date： Dec. 15, 2000
Summary：

【要約】【課題】 低温での加工成形が可能で、かつ、層間絶縁膜として必要な解像度、耐溶剤性、下地との密着性、保存安定性を併せ持つ感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 [A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)(メタ)アクリル酸-β-メチルグリシジルの如きエポキシ化合物および/または下記式(3)【化1】で示される単量体の如きエポキシ化合物および(a3)前記(a1)および(a2)以外のオレフィン系不飽和化合物を共重合して得られる共重合体と[B]1,2-キノンジアジド化合物を含有する感放射線性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)下記式(1)【化1】式中、Rは水素原子またはメチル基であり、R1は炭素数1〜4のアルキル基でありそしてnは1〜6の整数である、で示される単量体および/または下記式(2)【化2】式中、R2は水素原子またはメチル基であり、pは1〜6の整数でありそしてqは1〜6の整数である、で示される単量体、および(a3)前記(a1)および(a2)以外のオレフィン系不飽和化合物を共重合して得られる共重合体と[B]1,2-キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/032 501 ,  G11B 5/31

FI (3)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/032 501 ,  G11B 5/31 F

F-Term (30)：

2H025AA00 ,  2H025AA02 ,  2H025AA06 ,  2H025AA14 ,  2H025AA20 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC07 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB06 ,  2H025CB10 ,  2H025CB11 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CB52 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  5D033BA42 ,  5D033CA04