Pat
J-GLOBAL ID:200903017077988756

銅及び銅合金の表面処理方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 古谷 馨 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992189348
Publication number (International publication number):1994033268
Application date: Jul. 16, 1992
Publication date: Feb. 08, 1994
Summary:
【要約】【構成】 銅又は銅合金の表面を塩化第二鉄を含有する水溶液に好ましくは界面活性剤又は/及び銅表面の酸化防止剤を含有せしめた水溶液からなるエッチング液により処理して清浄化、粗面化、あるいは活性化するにあたり、エッチング液の酸化還元電位を測定して、酸化還元電位が設定値付近に保持される様に塩化第二鉄を含有する水溶液の新液を供給し、エッチング液の組成を一定に保ってエッチングを行うことを特徴とする銅又は銅合金の表面処理方法。【効果】 銅、銅合金の表面処理を連続して均一に行うことができ、更に、界面活性剤、酸化防止剤を含有せしめることにより、油膜除去、酸化防止処理も同時に行うことが出来る。
Claim (excerpt):
銅又は銅合金の表面を塩化第二鉄を含有する水溶液からなるエッチング液により処理して清浄化、粗面化、あるいは活性化するにあたり、エッチング液の酸化還元電位を測定して、酸化還元電位が設定値付近に保持される様に塩化第二鉄を含有する水溶液の新液を供給し、エッチング液の組成を一定に保ってエッチングを行うことを特徴とする銅又は銅合金の表面処理方法。
IPC (2):
C23F 1/18 ,  G01N 27/416
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
  • 特開平2-149684
  • 特開昭51-065044
  • 特開平3-197335
Show all

Return to Previous Page