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J-GLOBAL ID：200903017096329852

有機分子検出用半導体素子、有機分子検出用半導体装置及びこれを用いた有機分子の測定方法

Inventor： 八木 健
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 古谷 史旺
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000399166
Publication number (International publication number)：2002202303
Application date： Dec. 27, 2000
Publication date： Jul. 19, 2002
Summary：

【要約】【課題】 高感度で、有機分子プローブの合成処理に対する耐久性を高くできる有機分子検出用半導体装置を提供する。【解決手段】 有機分子検出用半導体装置100は、シリコン基板101の表面(第1の主面)101Aに画素(光電変換部を含む)110が配置され、裏面(第2の主面)101BにDNAプローブ161が固定される凹部112(底部が有機分子プローブ配置領域となる)が形成されている。有機分子検出用半導体装置100は、背面入射のFT方式のCCD型固体撮像装置を構成する。DNA等の有機分子の解析時に、ターゲット(特定構造のDNA)から生じた光を読み出す光学系を設ける必要がない。装置全体がコンパクトとなり製造コストも低減する。又、半導体製造技術による画素110と有機的な化学処理によるDNAプローブ161が互いに異なる面に形成される。

Claim (excerpt)：

半導体基板の第1の主面に光電変換部が配置され、第2の主面に有機分子プローブ配置領域が形成されていることを特徴とする有機分子検出用半導体素子。

IPC (9)：

G01N 33/53 ,  C12M 1/00 ,  C12M 1/34 ,  C12N 15/09 ,  C12Q 1/68 ,  G01N 21/64 ,  G01N 33/566 ,  G01N 37/00 102 ,  H01L 27/14

FI (9)：

G01N 33/53 M ,  C12M 1/00 A ,  C12M 1/34 Z ,  C12Q 1/68 A ,  G01N 21/64 F ,  G01N 33/566 ,  G01N 37/00 102 ,  C12N 15/00 F ,  H01L 27/14 K

F-Term (47)：

2G043AA03 ,  2G043BA16 ,  2G043CA03 ,  2G043DA02 ,  2G043DA06 ,  2G043EA01 ,  2G043GA07 ,  2G043GB01 ,  2G043JA02 ,  2G043KA03 ,  2G043LA01 ,  4B024AA11 ,  4B024AA19 ,  4B024BA80 ,  4B024CA01 ,  4B024CA09 ,  4B024CA12 ,  4B024HA14 ,  4B029AA07 ,  4B029BB15 ,  4B029BB20 ,  4B029CC03 ,  4B029CC08 ,  4B029FA15 ,  4B063QA01 ,  4B063QA18 ,  4B063QQ42 ,  4B063QQ52 ,  4B063QQ79 ,  4B063QR32 ,  4B063QR36 ,  4B063QR48 ,  4B063QR55 ,  4B063QR84 ,  4B063QS03 ,  4B063QS10 ,  4B063QS14 ,  4B063QS25 ,  4B063QS34 ,  4B063QS36 ,  4B063QS39 ,  4B063QX02 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA12 ,  4M118CA40 ,  4M118FA06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特表平7-508831