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J-GLOBAL ID：200903017127909747

固体撮像素子

Inventor：
野村 秀雄

About 野村 秀雄


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Agent (1)： 松隈 秀盛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000238680
Publication number (International publication number)：2002057319
Application date： Aug. 07, 2000
Publication date： Feb. 22, 2002
Summary：
【要約】【課題】 隣接画素間の素子分離領域を基体深部まで形成可能にして、高感度で且つ高密度画素、あるいは超小型化のCCD固体撮像素子を提供する。【解決手段】 固体撮像素子において、隣接する画素、特に垂直方向に隣接する受光センサ部12間がトレンチ構造による素子分離領域25で分離されて成る。
Claim (excerpt)：
トレンチ構造による素子分離領域で隣接する画素間が分離されて成ることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (3)：
H01L 27/148 ,  H01L 21/76 ,  H04N 5/335
FI (3)：
H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 B ,  H01L 21/76 L
F-Term (26)：
4M118AA01 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA08 ,  4M118BA10 ,  4M118CA03 ,  4M118DA03 ,  4M118EA20 ,  4M118FA06 ,  4M118FA13 ,  4M118FA27 ,  4M118FA28 ,  4M118FA35 ,  5C024AX01 ,  5C024CX37 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024GX03 ,  5C024GY05 ,  5C024GY06 ,  5F032AA44 ,  5F032AB01 ,  5F032AC01 ,  5F032CA14 ,  5F032CA21 ,  5F032DA22
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
  • 特開平4-011774
  • 特開昭63-312669
  • 固体撮像素子
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-152494   Applicant：ソニー株式会社
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