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J-GLOBAL ID：200903017170010600
金属内包炭素クラスターの製造方法およびその製造装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993006421
Publication number (International publication number)：1994211510
Application date： Jan. 19, 1993
Publication date： Aug. 02, 1994
Summary：
【要約】【目的】 C60に代表されるような篭状で中空の炭素クラスター、いわゆるフラーレン類のその中に所望の原子、分子またはイオンを内包させた金属内包炭素クラスターを容易に、かつ多量に作製すること。【構成】 金属内包炭素クラスターの作製装置1は、外壁をパイレックスガラスで覆い、その内部にはプラズマを発生させるための上部電極2および下部電極3を装備している。下部電極上には適度な重量比率で内包させたい金属元素を含んだ金属酸化物またはハロゲン化物をあらかじめ混合してあるグラファイトの圧縮成形ターゲット4を取付ける。またスパッタリングのためのプラズマ発生用ガスとしてアルゴンガスを約100mTorrの圧力で供給するようする。次に上記電極に高周波電力や直流電力を印加し、反応装置の電極間にアルゴンプラズマを形成する。
Claim (excerpt)：
炭素クラスターの内部に金属元素を少なくとも一種類含んだ金属内包炭素クラスターの作製において、該金属元素を含む酸化物またはハロゲン化物を混合したカーボン粉末を圧縮成形したターゲットに対して希ガスの存在下でプラズマでスパッタリングすることにより該金属内包炭素クラスターを作製することを特徴とする金属内包炭素クラスターの製造方法。
IPC (3)：
C01B 31/02 101
, C01G 1/00 ZAA
, C23C 14/34
