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J-GLOBAL ID:200903017170478636

セラミックスヒータ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小杉 佳男 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991341192
Publication number (International publication number):1993174949
Application date: Dec. 24, 1991
Publication date: Jul. 13, 1993
Summary:
【要約】【目的】電力密度が高く、急速加熱が可能で、かつ均熱性の高いセラミックスヒータを提供する。【構成】Fe-20Cr-5Alステンレス鋼の30μm厚さの箔を用い、エッチングにより大きさ45×25mm、抵抗60Ωの面状発熱体を製作し、50mm×30mm×厚さ1mm、熱伝導率150W/mKの窒化アルミニウム焼結体に圧力200g/cm2 をかけて挾み込んだセラミックスヒータ。
Claim (excerpt):
金属製の面状発熱体を、2枚の窒化アルミニウム焼結体の間又は窒化アルミニウム焼結体と他のセラミックスとの間に密着介装したことを特徴とするセラミックスヒータ。
IPC (2):
H05B 3/14 ,  C04B 35/58 104
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • 特開平3-236186
  • 特開平3-226986
  • 特開平1-231285

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