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J-GLOBAL ID：200903017182127383

走査型トンネル顕微鏡

Inventor： 山本 光
Applicant, Patent owner： 日立建機株式会社
Agent (1)： 影井 俊次
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992125368
Publication number (International publication number)：1993296712
Application date： Apr. 20, 1992
Publication date： Nov. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 測定精度をさほど低下させることなく、測定時間の短縮を図ることができるようにする。【構成】 電流・距離変換部8で検出した測定データに関する信号をデータ変化検出回路14に取り込んで、前回の測定データと比較して、前回の測定データと今回の測定データとの差が所定の閾値以下であれば、この信号をピッチ変更回路15に送り込んで、次の回の測定ポイントでの測定の実行を中止し、この測定ポイントを飛ばして次々回の測定ポイントの位置までスルーさせるように制御し、これによって、試料2の形状に変化のない部分では、設定された測定ピッチ間隔の半分の測定ポイントでしか測定を行わないようにする。ただし、このように測定ポイントを間引いて取得した測定データをそのままの状態では画像として表示できないので、測定作業を間引いた測定ポイントでのデータを前後の測定データを補間回路16に取り込んで、この補間回路16により両測定データの中間の値を演算して、間引き測定ポイントの補間データを作成する。

Claim (excerpt)：

被測定試料に近接して配置される探針と、この探針と試料との間にトンネル電流を生じさせるための電圧を加える電圧印加手段と、前記トンネル電流を測定する測定手段と、測定されたトンネル電流が一定となるように前記探針と前記試料との間の距離を制御する制御手段と、前記探針を前記試料表面に沿って走査させる走査手段と、前記探針で得られた試料表面のデータを記録・処理するデータ処理手段とを備えた走査型トンネル顕微鏡において、所定の走査範囲における各測定ポイントでの測定データの変化を検出するデータ変化検出手段と、このデータ変化検出手段からの信号に基づいて走査ピッチを変更するピッチ変更手段と、このピッチ変更手段により間引かれたポイント分のデータを前後の測定ポイントにおける測定データで補間する補間手段とを備える構成としたことを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。

IPC (2)：

G01B 7/34 ,  H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-080605
  
• 特開昭64-112107
  
• 特開昭57-012312
  
• 特開平1-169309