Pat

J-GLOBAL ID：200903017193609150

電子線装置および走査電子顕微鏡

Inventor： 佐藤 貢
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992106405
Publication number (International publication number)：1993299048
Application date： Apr. 24, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】凹凸を有する試料に対して、その三次元像の生成及び三次元計測が容易に行える電子線装置を提供する。【構成】Z軸情報の異なる走査像を取り込むために、電子線のフォーカス位置の設定および変更ができる手段13と各Z軸情報に対する走査像を記憶する画像メモリ12を設け、この画像メモリ12のデータを基に各Z軸情報に対応した試料の断面輪郭像を抽出14し、各Z軸情報に対応した断面輪郭像とZ軸情報とから、三次元像を生成するための手段15とその表示手段16を設ける。【効果】凹凸の大きな試料に対しても、その三次元形態が高分解能な条件で定量的に測定および表示できる。

Claim (excerpt)：

電子線を細く絞って試料上を走査し、当該試料の走査像を得る電子線装置において、Z軸方向のフォーカス条件が異なる上記走査像を複数取り込み、当該複数の走査像と上記Z軸方向のフォーカス条件(Z軸情報)とから、当該Z軸情報を含む上記試料の三次元像を生成することを特徴とする電子線装置。

IPC (4)：

H01J 37/22 ,  G01B 15/00 ,  H01J 37/21 ,  H01J 37/28