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J-GLOBAL ID：200903017211797130
透明体の検査方法、検査装置、および検査システム
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
好宮 幹夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998069330
Publication number (International publication number)：1999094757
Application date： Mar. 04, 1998
Publication date： Apr. 09, 1999
Summary：
【要約】【課題】 検出精度と検査能率に優れた透明体の検査方法、検査装置および検査システムを提供する。【解決手段】 透明体に光を照射して、該透明体の表面あるいは透明体内部の検査を行う方法において、該透明体に対して光源の反対側から透過光を観察することによって該透明体の検査を行うことを特徴とする透明体の検査方法である。また、透明体を検査位置まで移動し、固定する透明体移動手段と、この透明体移動手段により検査位置で固定された透明体に対しその一表面側に配置された光源から光を照射する光照射手段と、前記透明体の反対表面側に位置し、前記透明体を透過した前記光源からの光を検出する検出器を有する検出手段とを具備することを特徴とする透明体の検査装置である。
Claim (excerpt)：
透明体に光を照射して、該透明体の表面あるいは透明体内部の検査を行う方法において、該透明体に対して光源の反対側から透過光を観察することによって、該透明体の検査を行うことを特徴とする透明体の検査方法。
IPC (3)：
G01N 21/88
, G03F 1/08
, G03F 1/14
G01N 21/88 D
, G01N 21/88 E
, G03F 1/08 S
, G03F 1/14 J
