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J-GLOBAL ID：200903017212865082
電子放出素子、電子源、表示パネルおよび画像形成装置の製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995097708
Publication number (International publication number)：1996273530
Application date： Mar. 31, 1995
Publication date： Oct. 18, 1996
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 従来技術における電子放出部形成用薄膜の製造工程を簡略化し、低コストの電子放出素子、電子源、表示パネルおよび画像形成装置の製造方法を提供する。【構成】 電極2,3間に、電子放出部5が形成された導電性膜4を有する電子放出素子の製造方法において、電子放出部が形成される導電性膜の形成工程が、金属コロイドを含む水溶液を液滴化して基板上に付与する工程と、付与された該水溶液を加熱する工程とを有する電子放出素子の製造方法。
Claim (excerpt)：
【請求項01】 電極間に、電子放出部が形成された導電性膜を有する電子放出素子の製造方法において、電子放出部が形成される導電性膜の形成工程が、金属コロイドを含む水溶液を液滴化して基板上に付与する工程と、付与された該水溶液を加熱する工程とを有することを特徴とする電子放出素子の製造方法。【請求項02】 前記水溶液に極性溶媒を添加することを特徴とする請求項1に記載の電子放出素子の製造方法。【請求項03】 前記極性溶媒として、ジメチルスルホキシドを用いることを特徴とする請求項2に記載の電子放出素子の製造方法。【請求項04】 前記の金属コロイドが、還元による化学反応またはガス中蒸発法により生成されたコロイド水溶液であることを特徴とする請求項1ないし3に記載の電子放出素子の製造方法。【請求項05】 前記の金属コロイドが、Pd,Pt,Ru,Ag,Au,Ti,In,Cu,Cr,Fe,Zn,Sn,Ta,W,Pbのいずれかであることを特徴とする請求項1ないし4に記載の電子放出素子の製造方法。【請求項06】 前記の金属コロイドがプロタルピン酸ナトリウム法またはガス中蒸発法により生成されたPdコロイドであることを特徴とする請求項1ないし5に記載の電子放出素子の製造方法。【請求項07】 前記の水溶液の前記金属含有量が0.01重量%から5重量%の範囲であることを特徴とする請求項1ないし6に記載の電子放出素子の製造方法。【請求項08】 前記の液体の極性溶媒濃度が0.005重量%から70重量%の範囲であることを特徴とする請求項1ないし7に記載の電子放出素子の製造方法。【請求項09】 前記水溶液の基板上への付与は、インクジェット方式を用いて行われる請求項1〜8に記載の電子放出素子の製造方法。【請求項10】 前記インクジェット方式は、バブルジェット方式であることを特徴とする請求項1〜9に記載の電子放出素子の製造方法。【請求項11】 請求項1〜10のいずれかに記載の工程にて形成された前記導電性膜に、電子放出部を形成するためのフォーミング処理を施す工程を有することを特徴とする電子放出素子の製造方法。【請求項12】 前記フォーミング処理は、前記導電性膜に通電する工程を含む請求項11に記載の電子放出素子の製造方法。【請求項13】 前記電子放出素子は、表面伝導型電子放出素子である請求項1〜12いずれかに記載の電子放出素子の製造方法。【請求項14】 電子放出素子と、該素子への電圧印加手段とを具備する電子源の製造方法であって、該電子放出素子を請求項1〜13のいずれかに記載の方法で作製することを特徴とする電子源の製造法。【請求項15】 電子放出素子及び該素子への電圧印加手段を具備する電子源と、該素子から放出される電子を受けて発光する発光体とを具備する表示パネルの製造方法であって、該電子放出素子を請求項1〜13いずれかに記載の方法で作製することを特徴とする表示パネルの製造方法。【請求項16】 電子放出素子及び該素子への電圧印加手段を具備する電子源と、該素子から放出される電子を受けて発光する発光体と、外部信号に基づいて該素子へ印加する電圧を制御する駆動回路とを具備する画像形成装置の製造方法であって、該電子放出素子を請求項1〜12いずれかに記載の方法で作製することを特徴とする画像形成装置の製造方法。
IPC (5)：
H01J 9/02
, G09F 9/313
, H01J 1/30
, H01J 31/12
, H04N 5/68
H01J 9/02 B
, G09F 9/313 E
, H01J 1/30 B
, H01J 31/12 B
, H04N 5/68 B
