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J-GLOBAL ID：200903017216945250

電子顕微鏡

Inventor： 穴澤 紀道
Applicant, Patent owner： 株式会社ホロン
Agent (1)： 岡田 守弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997101132
Publication number (International publication number)：1998294076
Application date： Apr. 18, 1997
Publication date： Nov. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、試料上から放出された2次電子をレンズで結像し表示する電子顕微鏡に関し、1次電子で試料を平面的に照射し放出された2次電子をレンズで拡大して結像し、この結像した画像を表示することにより、ウェハなどの厚い試料の表面の2次電子像を高速かつ広範囲に渡って観察可能にすることを目的とする。【解決手段】 1次電子を放射する電子源と、この電子源から放射された1次電子を集束する第1のレンズと、この第1のレンズで集束された1次電子を試料上で観察対象の部分に均一に照射させるように結像すると共に、試料上から所定電界強度で引き出された2次電子を結像する第2のレンズと、この第2のレンズによって結像された2次電子の像を受光面に結像させる第3のレンズと、この受光面に結像された2次電子の像を電気信号に変換して取り出す撮像装置と、この撮像装置によって取り出した電気信号をもとに画面上に2次電子の像を表示する表示装置とを備えたことを特徴とする電子顕微鏡である。

Claim (excerpt)：

試料上から放出された2次電子をレンズで結像し表示する電子顕微鏡において、1次電子を放射する電子源と、この電子源から放射された1次電子を集束する第1のレンズと、この第1のレンズで集束された1次電子を試料上で観察対象の部分に均一に照射させるように結像すると共に、試料上から所定電界強度で引き出された2次電子を結像する第2のレンズと、この第2のレンズによって結像された2次電子の像を受光面に結像させる第3のレンズと、この受光面に結像された2次電子の像を電気信号に変換して取り出す撮像装置と、この撮像装置によって取り出した電気信号をもとに画面上に2次電子の像を表示する表示装置とを備えたことを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (3)：

H01J 37/29 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/248

FI (3)：

H01J 37/29 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/248 B