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J-GLOBAL ID：200903017230157087
表面に溝を有した静電チャックおよびその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大西 正悟 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994187801
Publication number (International publication number)：1995045693
Application date： Jul. 18, 1994
Publication date： Feb. 14, 1995
Summary：
【要約】【目的】 ガスアシスト熱伝達を有効に利用できる静電チャックを得る。【構成】 チャツクボディ111の表面110に溝パターン層112が形成される。チャックボディは、電極104,106を有する基板100と、この電極を覆って形成された第1誘電層108とからなる。第1誘電層の上に誘電材料ペーストによりスクリーン印刷されて第2誘電層112が形成される。このペーストは少なくとも一つの溝を有するパターンでスクリーン印刷塗布され、ペーストが硬化されて所定のギャップを有する第2誘電層が形成される。第1誘電層表面とこれらギャップにより所定の溝パターンが形成される。この後のワークピースの処理に際しては、第2誘電層の上にワークピース122が支持される。このとき、基板および第1誘電層を貫通する穴216を介して溝内にガスが供給され、このガスによりワークピースと静電チャックとの間の均一な熱伝達が行われる。
Claim (excerpt)：
ワークピース保持のために用いられる表面に溝を有した静電チャックの製造方法であって、チャックボディの表面上に、平面方向のギャップを有した所定パターンの絶縁材料製の層を形成するステップと、この層を硬化させて、前記ギャップと前記チャックボディの前記表面とから決まる溝を有した絶縁層を形成するステップとからなることを特徴とする静電チャックの製造方法。
IPC (3)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
Cited by examiner (5)
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