Pat
J-GLOBAL ID：200903017231999057
干渉測定装置及び位相シフト縞解析装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
吉田 研二
, 石田 純
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003106016
Publication number (International publication number)：2004309402
Application date： Apr. 10, 2003
Publication date： Nov. 04, 2004
Summary：
【課題】取得したデータを有効活用して高精度に位相シフト縞を解析し、ワークの寸法等を測定する。【解決手段】マイケルソン型干渉計本体1はレーザ光源10、光学楔28、ベースプレート34、ワーク36及び干渉縞画像を取得するCCDカメラ42を備え、干渉縞画像をPC2へ供給する。PC2は、干渉縞画像の任意の画素位置における光学楔28の移動に伴う濃淡変化から位相角を算出し、ワーク36の寸法を測定する。干渉縞画像の任意の画素位置における濃淡変化は、得られた実データのフーリエ解析により算出される。フーリエ解析は、FFT、1次直線近似、2次曲線近似あるいは3次曲線近似が用いられる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
平行光線を2分割した一方の光の光路中にベースプレートを密着させた被測定物を挿入し、前記被測定物及び前記ベースプレートで反射した光を前記2分割した他方の光と干渉させるとともに、いずれか片方の光路中に挿入した光学楔等の位相シフト手段により干渉縞を移動させながら干渉縞の端数値を求め、この端数値に基づき前記被測定物を測定する干渉測定装置であって、
前記位相シフト手段の移動に伴って前記干渉縞画像を順次取得する画像取得手段と、
前記干渉縞画像内の任意の位置における濃淡レベルを前記位相シフト手段の移動量の周期関数として算出する際に、取得した干渉縞画像から得られた濃淡レベルデータを非等間隔な実データピッチでフーリエ解析して算出し、得られた前記周期関数に基づき前記端数値を算出する演算手段と、
を有することを特徴とする干渉測定装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (25)：
2F064AA09
, 2F064BB04
, 2F064BB05
, 2F064EE01
, 2F064FF01
, 2F064GG12
, 2F064GG22
, 2F064GG44
, 2F064GG61
, 2F064JJ15
, 2F065AA24
, 2F065FF52
, 2F065GG04
, 2F065HH03
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL12
, 2F065LL46
, 2F065MM01
, 2F065QQ14
, 2F065QQ16
, 2F065QQ17
, 2F065QQ42
