光偏向器及び電磁型アクチュエータ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002075047
Publication number (International publication number)：2003270558
Application date： Mar. 18, 2002
Publication date： Sep. 25, 2003
Summary：

【要約】【課題】二本の軸の周りに回転される可動板の各々の回転軸に対応する回転動作間のクロストークが低減された光偏向器及び電磁アクチュエータを提供する。【解決手段】光偏向器に用いられる偏向ミラー素子は互いに積層されたシリコン基板200とポリイミド膜210と金属膜220とポリイミド膜230と金属膜240とポリイミド膜250とで構成されている。シリコン基板200は、可動板に対応する矩形の部分202と、支持体に対応する枠状の部分204とを有し、ポリイミド膜210と250は、弾性部材に対応するメッシュ状の部分216と256を含み、金属膜220は駆動用配線162を含み、金属膜240は駆動用配線152を含んでいる。駆動用配線152の可動板に位置する部分は第一の回転軸に平行に延びており、駆動用配線162の可動板に位置する部分は第一の回転軸に直交する第二の回転軸に平行に延びている。

Claim (excerpt)：

光ビームを反射すると共に反射された光ビームの方向を変更し得る光偏向器であり、支持体と、光を反射するための反射面を有する可動板と、可動板を支持体に対して第一の回転軸の周りに回転可能に支持するための一対の第一の弾性部であり、可動板と支持体を連絡している弾性変形し得る一対の第一の弾性部と、可動板を支持体に対して第一の回転軸に直交する第二の回転軸の周りに回転可能に支持するための一対の第二の弾性部であり、可動板と支持体を連絡している弾性変形し得る一対の第二の弾性部と、支持体と第一の弾性部と可動板を通っている第一の駆動用配線であり、可動板に位置する部分は第一の回転軸に平行に延びている第一の駆動用配線と、支持体と第二の弾性部と可動板を通っている第二の駆動用配線であり、可動板に位置する部分は第二の回転軸に平行に延びている第二の駆動用配線と、可動板が位置し得る空間に磁場を形成するための磁場発生手段とを備えている、光偏向器。

IPC (3)：

G02B 26/08 , B81B 7/00 , G02B 26/10 104

FI (3)：

G02B 26/08 E , B81B 7/00 , G02B 26/10 104 Z

F-Term (12)：

2H041AA14 , 2H041AA18 , 2H041AB14 , 2H041AC04 , 2H041AZ02 , 2H041AZ08 , 2H045AB03 , 2H045AB13 , 2H045AB16 , 2H045AB73 , 2H045BA12 , 2H045CB63

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