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J-GLOBAL ID：200903017273282250

磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記録再生装置

Inventor： 清水 謙治 ,  酒井 浩志 ,  坂脇 彰
Applicant, Patent owner： 昭和電工株式会社
Agent (7)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002182820
Publication number (International publication number)：2004030740
Application date： Jun. 24, 2002
Publication date： Jan. 29, 2004
Summary：

【課題】ノイズ特性を向上させることができ、かつ生産性に優れた磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記録再生装置を提供する。【解決手段】非磁性基板1上に、軟磁性膜2と、配向制御膜3と、磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂直磁気記録膜5と、保護膜6が設けられた磁気記録媒体を製造するにあたって、軟磁性膜2をスパッタ法を用いて形成し、軟磁性膜2を形成する際の成膜ガス圧を2Pa以上30Pa以下とする。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

非磁性基板上に、軟磁性膜と、配向制御膜と、磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂直磁気記録膜と、保護膜が設けられた磁気記録媒体を製造する方法であって、 前記軟磁性膜をスパッタ法を用いて形成し、軟磁性膜を形成する際の成膜ガス圧を2Pa以上30Pa以下とすることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (5)：

G11B5/851 ,  C22C19/07 ,  C22C38/00 ,  C22C38/14 ,  G11B5/667

FI (5)：

G11B5/851 ,  C22C19/07 C ,  C22C38/00 303H ,  C22C38/14 ,  G11B5/667

F-Term (17)：

5D006BB01 ,  5D006CA01 ,  5D006CA03 ,  5D006CA06 ,  5D006DA03 ,  5D006DA08 ,  5D006EA03 ,  5D006FA00 ,  5D006FA09 ,  5D112AA03 ,  5D112AA04 ,  5D112AA05 ,  5D112AA07 ,  5D112AA24 ,  5D112BB01 ,  5D112BD03 ,  5D112FB20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭61-005427
  
• 垂直磁気記録媒体および磁気記憶装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-266093   Applicant：株式会社日立製作所