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J-GLOBAL ID：200903017276424268

圧力センサおよびその製造方法

Inventor： 馬場 和宏 ,  相川 由実
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 舘野 千惠子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992121038
Publication number (International publication number)：1993296864
Application date： Apr. 16, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 小型で高耐圧の圧力センサおよびその製造方法を提供する。【構成】 弾性変形素子として10〜50MPaの引っ張り応力を持ったダイヤモンド薄膜ダイアフラムを作製し、このうえに金属薄膜ストレインゲージを設けた構造とする。また、シリコン基板をエッチングする際にマスクとしてダイヤモンド薄膜を用いる。

Claim (excerpt)：

ダイアフラムと、該ダイアフラム上に形成したストレインゲージと、これらを支持する基板とから構成される圧力センサにおいて、ダイアフラムがダイヤモンド薄膜よりなることを特徴とする圧力センサ。

IPC (3)：

G01L 9/04 101 ,  C30B 29/04 ,  H01L 29/84