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J-GLOBAL ID：200903017300594838

液晶表示素子の配向膜形成方法及び装置

Inventor： 上 埜 亜希子 ,  富 井 等 ,  山 本 武 志 ,  長谷川 誠 ,  秋 吉 宗 治
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995275739
Publication number (International publication number)：1997166783
Application date： Oct. 24, 1995
Publication date： Jun. 24, 1997
Summary：

【要約】【課題】 表示性能の低下を可及的に防止することを可能にする。【解決手段】 透明電極が形成された透明基板上に配向膜材料を塗布することによって配向膜を成膜する工程と、塗布された前記配向膜の膜厚を計測する工程と、計測された前記膜厚が所定値未満の場合に、インクジェットノズルを用いて配向膜材料を塗布することにより前記配向膜の膜厚が所定値未満の箇所を補修する工程と、を備えていることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

透明電極が形成された透明基板上に配向膜材料を塗布することによって配向膜を成膜する工程と、塗布された前記配向膜の膜厚を計測する工程と、計測された前記膜厚が所定値未満の場合に、インクジェットノズルを用いて配向膜材料を塗布することにより前記配向膜の膜厚が所定値未満の箇所を補修する工程と、を備えていることを特徴とする液晶表示素子の配向膜形成方法。

IPC (3)：

G02F 1/1337 ,  B41J 2/17 ,  G01B 11/06

FI (3)：

G02F 1/1337 ,  G01B 11/06 G ,  B41J 3/04 102