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J-GLOBAL ID：200903017312986316

アレイ型光変調素子、アレイ型露光素子、及び平面型ディスプレイの駆動方法

Inventor： 木村 宏一
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 萩野 平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998197733
Publication number (International publication number)：2000028938
Application date： Jul. 13, 1998
Publication date： Jan. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】 出力光量を低減させることなく、素子の必要な応答時間を十分に長く設定し、素子の設計自由度を向上させ、周辺回路の負担を軽減しつつ、1画面の露光時間を極端に短縮することができるアレイ型光変調素子、アレイ型露光素子の駆動方法を提供する。【解決手段】 可撓薄膜39を有する光変調部51を一次元又は二次元に配列し、この光変調部51の可撓薄膜39を静電気応力により変形させ、可撓薄膜39を透過する光の透過率を変化させるアレイ型光変調素子57の駆動方法において、1フィールド期間に各走査の間隔を重みづけ制御して複数回走査することにより階調を得る。また、このような駆動方法により駆動される光変調部51を要部として用い、アレイ型露光素子、又は平面型ディスプレイを構成する。

Claim (excerpt)：

可撓薄膜を有する光変調部を1次元又は2次元に配列し、該光変調部の前記可撓薄膜を静電気応力により変形させ、光の透過率を変化させるアレイ型光変調素子の駆動方法において、1フィールド期間に各走査の間隔を重みづけして複数回走査することにより階調を得ることを特徴とするアレイ型光変調素子の駆動方法。

IPC (3)：

G02B 26/08 ,  G09G 3/20 641 ,  G09G 3/34

FI (3)：

G02B 26/08 J ,  G09G 3/20 641 E ,  G09G 3/34 Z

F-Term (19)：

2H041AA05 ,  2H041AA06 ,  2H041AB00 ,  2H041AB10 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ05 ,  5C080AA18 ,  5C080BB05 ,  5C080DD01 ,  5C080DD22 ,  5C080DD30 ,  5C080EE29 ,  5C080FF01 ,  5C080FF12 ,  5C080GG02 ,  5C080JJ02 ,  5C080JJ04 ,  5C080JJ05 ,  5C080JJ06