弾性表面波装置及びその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：池内寛幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994080272
Publication number (International publication number)：1995115343
Application date： Apr. 19, 1994
Publication date： May. 02, 1995
Summary：

【要約】【目的】弾性表面波素子において、その小型化を容易にし、半田づけのような熱に対する安定性、信頼性を向上させる。【構成】弾性表面波素子を有する基板11に、前記基板と同一材料、ガラス、または水晶からなる蓋部13で、直接、または珪素もしくは珪素化合物を介して、弾性表面波素子部を実質的に気密封止している。基板ごと直接蓋部で封止しているので、小型化が容易になる。また蓋部の接着には接着剤などを使用しない直接接合を応用しているので、熱に対して安定である。このため、これまで問題であった接着剤から発生するガスによって生じる周波数の経年変化も抑えられるため、信頼性も向上できる。なお、くし型電極14から引き出した電極部は低融点ガラスによって封止する。

Claim (excerpt)：

弾性表面波素子を有する基板と、前記基板と実質的に同一材料からなる蓋部とを少なくとも備えた弾性表面波装置であって、前記基板と前記蓋部とは、互いにその材料自体が形成する無機共有結合によって自己接着され、弾性表面波素子部を実質的に気密封止したことを特徴とする弾性表面波装置。

IPC (2)：

H03H 9/25 , H03H 3/08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (16)

特開平4-082313
特開平3-123112
特開平3-006914

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