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J-GLOBAL ID：200903017320133187

赤外線検出器

Inventor： 曽根 孝典
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 宮田 金雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996269671
Publication number (International publication number)：1998115556
Application date： Oct. 11, 1996
Publication date： May. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】 熱型の赤外線検知アレイの受光部の真空気密が容易に得られ、またボロメータ方式の赤外線検知アレイの温度安定が容易に得られる。【解決手段】 シリコン基板1の上に形成した受光部2の前面に、赤外線透過窓4を空隙3を有して配置し、透過窓4は受光部2を囲む範囲の接着面で、基板1に気密に接着することにより固定し、かつ空隙3の内部を真空にする。

Claim (excerpt)：

基板上に受光部を形成したボロメータ方式、サーモパイル方式、または焦電方式の赤外線検知アレイにおいて、赤外線透過窓を、上記受光部の前面に空隙を有して配置し、上記透過窓は、上記受光部を完全に囲む接着面で、上記受光部を形成した上記基板に気密に接着することにより固定し、かつ上記空隙を真空とすることを特徴とする赤外線検出器。

IPC (2)：

G01J 5/02 ,  G01J 5/48

FI (3)：

G01J 5/02 F ,  G01J 5/02 J ,  G01J 5/48 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特表平7-508384
  
• 特開昭55-098320
  
• 特表平7-508384
  
• 特開昭55-098320