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J-GLOBAL ID：200903017341807439
機械要素および可動部を有する構造体ならびにその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
渡辺 望稔 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994216098
Publication number (International publication number)：1996074099
Application date： Sep. 09, 1994
Publication date： Mar. 19, 1996
Summary：
【要約】【目的】犠牲層および構造物の形成速度が高く、良好なステップカバレージでアスペクト比の大きな犠牲層および構造物を形成し、任意の形状の構造物を迅速かつ高精度で形成できる機械要素および可動部を有する構造体の製造方法、およびこの製造方法によって作製される機械要素および構造体を提供する。【構成】犠牲層エッチング技術を応用し、犠牲層をめっきによる金属あるいは合金層とし、構造物が前記犠牲層の平衡電極電位よりも小さいフラーデ電位を持つ金属または合金のめっき、あるいは構造物の表面に貴金属層を形成し、犠牲層を電解エッチングによって除去することにより、前記目的を達成する。
Claim (excerpt)：
最長部分の長さが1000μm以下、厚さを前記最長部分で割ってなる比が0.001以上で、少なくとも1つの表面が不動態被膜あるいは貴金属で覆われていることを特徴とする機械要素。
IPC (2)：
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