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J-GLOBAL ID：200903017359431320
基板保持具
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003328851
Publication number (International publication number)：2005093938
Application date： Sep. 19, 2003
Publication date： Apr. 07, 2005
Summary：
【課題】比較的単純な構造で、加工時と取り外し時の保持力を変化させることができ、基板を破損させる危険が少なく、繰り返し使用可能な基板保持具を提供する。【解決手段】支持体4上に、不織布、織布または多孔質シート3が形成され、さらにこの上に、密着保持層2が形成される。支持体4には不織布、織布または多孔質シート3と連通する孔5が設けられている。基板を取り外す際には、吸引テーブル6上に、基板10を伴った基板保持具1をセットし、支持体4に設けられた孔5を介して不織布、織布または多孔質シート3中の空気を吸引すると、密着保持層2は不織布、織布または多孔質シート3の表面形状に追従して変形し、基板10と密着保持層2との間に空隙が形成され、密着は解除される。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
基板を密着保持する基板保持具であって、支持体と、該支持体上に設けられた不織布と、該不織布上に形成された密着保持層とからなり、前記支持体は前記不織布と連通する孔を有していることを特徴とする基板保持具。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (9)：
3C016DA05
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031CA09
, 5F031HA02
, 5F031HA10
, 5F031HA12
, 5F031HA32
, 5F031HA80
