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J-GLOBAL ID：200903017410082093

露光用照明装置

Inventor： 森 孝司
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992046140
Publication number (International publication number)：1993217855
Application date： Feb. 01, 1992
Publication date： Aug. 27, 1993
Summary：

【要約】【目的】 σ値を大幅に変化させた場合にも照度均一性を悪化させない。【構成】 オプティカルインテグレータ2と交換自在に第2のオプティカルインテグレータ12を設け、第2のオプティカルインテグレータ12を、オプティカルインテグレータ2と2次光源の数がほぼ同一で且つそれら2次光源からなる面光源の大きさが異なる如く構成し、更にオプティカルインテグレータ2の射出側の開口数と等しい射出側の開口数を持つ如く構成する。

Claim (excerpt)：

平行光束を供給する光源系と、該光源系からの平行光束によって複数の2次光源からなる面光源を形成するオプティカルインテグレータと、前記複数の2次光源からの光束を集光して被照射面を重畳的に照明する集光光学系とを有する露光用照明装置において、前記オプティカルインテグレータと交換自在に第2のオプティカルインテグレータを設け、該第2のオプティカルインテグレータは、前記オプティカルインテグレータと2次光源の数がほぼ同一で且つ前記面光源の大きさが異なる如く構成されると共に、前記オプティカルインテグレータの射出側の開口数と等しい射出側の開口数を持つ如く構成され、前記第2のオプティカルインテグレータが前記露光用照明装置の光路内に設定された際に、前記被照射面上で重畳される前記複数の2次光源の個数を前記オプティカルインテグレータとほぼ等しくしつつ、前記露光用照明装置の被照射面側の開口数を可変にした事を特徴とする露光用照明装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03F 7/20 521

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 露光用照明装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-271502   Applicant：富士通株式会社