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J-GLOBAL ID：200903017421343085

透明電極板及びその製造方法

Inventor： 福吉 建蔵
Applicant, Patent owner： 凸版印刷株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992313239
Publication number (International publication number)：1994160876
Application date： Nov. 24, 1992
Publication date： Jun. 07, 1994
Summary：

【要約】【目的】高品質で広い画面ののディスプレイに使用される透明電極板として充分に高い導電性を有する透明電極板とその製造方法を提供すること。【構成】カラーフィルター層2R、2G、2Bを備える透明基板1に対し、スパッタリング法により、酸化ジルコニウムをドーパントとして添加した酸化インジウムの薄膜3を形成する。酸化ジルコニウムの添加量を増大するにつれてキャリャ密度が増加する一方キャリャの移動度は略一定に維持され、高い導電率の透明電極板が得られる。

Claim (excerpt)：

透明基板上に、酸化ジルコニウムをドーパントとして添加した酸化インジウムから構成される透明導電膜を備えることを特徴とする透明電極板。

IPC (5)：

G02F 1/1343 ,  C23C 14/08 ,  G02F 1/1335 505 ,  H01B 5/14 ,  H01B 13/00 503