Pat
J-GLOBAL ID：200903017472754276
走査トンネル顕微鏡用探針およびその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
池内 寛幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991344516
Publication number (International publication number)：1993172508
Application date： Dec. 26, 1991
Publication date： Jul. 09, 1993
Summary：
【要約】【目的】 導電性線材の先端部に酸化亜鉛ウィスカの針状単結晶を固着することにより、先端曲率が小さく、アスペクト比の大きい探針を提供する。【構成】 先端部を軽く電解エッチングしたタングステン線1の先端部に、正四面体の体心から四頂点に延びたテトラポッド形状の酸化亜鉛ウィスカ2を固着して探針とする。または結晶核や結晶途中のウィスカを固着した後、酸化亜鉛ウィスカの針状単結晶を成長させる方法を採用しても良い。
Claim (excerpt)：
導電性線材の先端部に尖鋭化部を有する走査トンネル顕微鏡用探針であって、前記探針は少なくとも先端部が酸化亜鉛ウィスカで形成されていることを特徴とする走査トンネル顕微鏡用探針。
IPC (3)：
G01B 7/34
, H01J 9/14
, H01J 37/28
