成分計測装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998184148
Publication number (International publication number)：2000019113
Application date： Jun. 30, 1998
Publication date： Jan. 21, 2000
Summary：

【要約】【課題】粒子の成分分析を迅速かつ精確に行なう成分計測装置を提供すること。【解決手段】レーザ光を照射された被測定対象が(5)発生したプラズマ光を分光器7に入射し、この分光器7が発生したスペクトル光の波長を基に前記被測定対象(5)の成分に係る計測を行なう成分計測装置において、前記被測定対象(5)から前記分光器7までの経路を、測定に要する波長近傍の光を吸収しない性質を有する気体でパージした。

Claim (excerpt)：

レーザ光を照射された被測定対象が発生したプラズマ光を分光器に入射し、この分光器が発生したスペクトル光の波長を基に前記被測定対象の成分に係る計測を行なう成分計測装置において、前記被測定対象から前記分光器までの経路を、測定に要する波長近傍の光を吸収しない性質を有する気体でパージしたことを特徴とする成分計測装置。

F-Term (19)：

2G043AA01 , 2G043BA11 , 2G043CA06 , 2G043EA10 , 2G043FA05 , 2G043GA04 , 2G043GB03 , 2G043GB09 , 2G043GB17 , 2G043GB28 , 2G043HA01 , 2G043HA09 , 2G043JA01 , 2G043KA05 , 2G043KA09 , 2G043LA03 , 2G043MA01 , 2G043NA01 , 2G043NA05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開昭58-219438
特開昭57-119241
特開平4-366749

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