Pat

J-GLOBAL ID：200903017481471414

カンチレバー型アクチユエータ及びそれを用いた走査型トンネル電子顕微鏡と情報処理装置

Inventor： 鈴木 義勇 ,  山本 敬介 ,  川崎 岳彦 ,  平井 裕
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991240227
Publication number (International publication number)：1993052507
Application date： Aug. 28, 1991
Publication date： Mar. 02, 1993
Summary：

【要約】【目的】 逆圧電効果を利用したカンチレバー型アクチュエータを構成する、基板となる弾性体と圧電体層との熱膨張係数の違い等により、カンチレバー部の反り等を防止することにある。【構成】 薄膜圧電体と薄膜電極とを積層したカンチレバー型アクチュエータにおいて、上下の電極2,4に挟まれた圧電体層が膜厚方向に電気抵抗率の異る2つの層3a,3bより構成されているカンチレバー型アクチュエータを特徴とする。

Claim (excerpt)：

薄膜圧電体と薄膜電極とを積層したカンチレバー型アクチュエータにおいて、上下の電極に挟まれた圧電体層が膜厚方向に電気抵抗率の異る2つの層より構成されていることを特徴とするカンチレバー型アクチュエータ。

IPC (3)：

G01B 7/34 ,  G11B 9/00 ,  H01L 41/09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-114400
  
• 特表平3-503463
  
• 特開平3-114400
  
• 特表平3-503463