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J-GLOBAL ID：200903017489081062

超音波振動子及びその製造方法

Inventor：
原田 裕之

About 原田 裕之


Applicant, Patent owner：
アロカ株式会社

About アロカ株式会社


Agent (1)： 吉田 研二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000353781
Publication number (International publication number)：2002153461
Application date： Nov. 21, 2000
Publication date： May. 28, 2002
Summary：
【要約】【課題】 超音波振動子を製造する場合に、グランドインピーダンスを低減する。【解決手段】 圧電体の下面側にバッキングが設けられ、そのバッキングは銅箔32によって包み込まれる。その銅箔32は、フレキシブル回路基盤18に設けられたアースライン20B,20Cに対して電気的に接続されており、また、ワイヤ35を介して各振動素子の上面電極に対しても電気的に接続されている。グランドラインを効果的に構成することによってグランドインピーダンスを低減できる。
Claim (excerpt)：
超音波の送受波を行う圧電体と、前記圧電体の下面側に設けられ、リードラインとアースラインとを有するフレキシブル回路基板と、前記フレキシブル回路基板の下面側に設けられたバッキング層と、前記バッキング層の少なくとも1面に沿って設けられ、前記アースラインに電気的に接続される導電膜と、を含むことを特徴とする超音波振動子。
IPC (8)：
A61B 8/00 ,  G01N 29/24 502 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H04R 17/00 330 ,  H04R 17/00 ,  H04R 17/00 332 ,  H04R 31/00 330
FI (8)：
A61B 8/00 ,  G01N 29/24 502 ,  H04R 17/00 330 J ,  H04R 17/00 330 H ,  H04R 17/00 332 A ,  H04R 31/00 330 ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z
F-Term (10)：
2G047GB02 ,  2G047GB21 ,  4C301EE16 ,  4C301GB18 ,  4C301GB33 ,  5D019BB18 ,  5D019BB28 ,  5D019FF04 ,  5D019GG01 ,  5D019HH03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
  • 超音波振動子
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-118417   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
  • 特開平3-054996

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