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J-GLOBAL ID：200903017496835587

装置およびそれを用いた分析方法

Inventor： 松延 剛
Applicant, Patent owner： 株式会社東レリサーチセンター
Agent (1)： 佐藤 謙二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002248194
Publication number (International publication number)：2004085416
Application date： Aug. 28, 2002
Publication date： Mar. 18, 2004
Summary：

【課題】多層構成を持つ試料の各層ごとの発光データや層欠陥等のデータを正確かつ効率的に得られる装置を提供すること。【解決手段】少なくとも2種類の光を、同時または異なるタイミングで試料に照射し、該試料から放出される発光を測定する装置。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

少なくとも2種類の光を、同時または異なるタイミングで試料に照射し、該試料から放出される発光を測定する装置。

IPC (3)：

G01N21/64 ,  G01M11/00 ,  G01N21/88

FI (4)：

G01N21/64 Z ,  G01M11/00 T ,  G01N21/88 K ,  G01N21/88 Z

F-Term (19)：

2G043AA03 ,  2G043CA09 ,  2G043EA01 ,  2G043GA06 ,  2G043GB01 ,  2G043GB21 ,  2G043JA01 ,  2G043JA08 ,  2G043LA01 ,  2G043NA04 ,  2G051AA90 ,  2G051AB06 ,  2G051BA08 ,  2G051BC01 ,  2G051CA01 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051EA02 ,  2G086EE03