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J-GLOBAL ID：200903017500127754

窒化アルミニウム薄膜の製造方法

Inventor： 柴田 典義 ,  谷 由加里 ,  野村 研二
Applicant, Patent owner： 財団法人ファインセラミックスセンター
Agent (1)： 岡田 英彦 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994115483
Publication number (International publication number)：1995316809
Application date： May. 27, 1994
Publication date： Dec. 05, 1995
Summary：

【要約】【目的】低温で結晶性の良好な窒化アルミニウム薄膜を形成できる方法を提供する。【構成】基板22上にスパッタリング法により窒化アルミニウム薄膜を製造する方法において、この薄膜の製造に先立つスパッタリング室4内の真空排気処理において、スパッタリング室4内の水蒸気分圧をモニタする。

Claim (excerpt)：

基板上にスパッタリング法により窒化アルミニウム薄膜を製造する方法において、この薄膜の製造に先立つスパッタリング室内の真空排気処理において、スパッタリング室内の水蒸気分圧をモニタすることを特徴とする窒化アルミニウム薄膜の製造方法。

IPC (2)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/06