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J-GLOBAL ID：200903017504328207

減圧貼付け装置

Inventor： 長手 弘
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993274639
Publication number (International publication number)：1995125071
Application date： Nov. 02, 1993
Publication date： May. 16, 1995
Summary：

【要約】【目的】 微細な凹凸パターン基板上に感光層付きフィルムを貼り付ける時に、微細な気泡の巻き込みのない減圧貼り付け装置を提供する。【構成】 減圧槽を弾性体の隔壁で2室に分離し、1室にシート基板と貼付けフィルムを設置して減圧し、もう1室を大気圧以上に加圧して、隔壁の弾性変形により貼付けフィルムをシート基板に貼り付ける装置において、弾性体隔壁を加熱する手段、及びシート基板と貼付けフィルムを、減圧前は接触しないように保持し、減圧後に接触させる手段を具備している。

Claim (excerpt)：

減圧槽を弾性体の隔壁で2室に分離し、1室にシート基板と貼付けフィルムを設置して減圧し、もう1室を大気圧以上に加圧して、隔壁の弾性変形により貼付けフィルムをシート基板に貼り付ける装置において、弾性体隔壁を加熱する手段を具備したことを特徴とする減圧貼付け装置。

IPC (4)：

B29C 65/02 ,  B29C 65/78 ,  H05K 3/28 ,  B29L 9:00