Pat
J-GLOBAL ID：200903017523806128
パターン形成装置、型保持ヘッド
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大場 充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003433792
Publication number (International publication number)：2005186557
Application date： Dec. 26, 2003
Publication date： Jul. 14, 2005
Summary：
【課題】 パターンの形成を低コスト化、高効率化することができ、またアスペクト比の高いパターン等も形成することのできるパターン形成装置を提供することを目的とする。【解決手段】 パターン形成装置10Bでは、ヒータブロック41で、基板表層部のガラス転移温度以上に加熱した型100を押し付けて基板にパターンを形成した後、型100を基板から離型させるに際し、超音波ホーン72で型100に超音波振動を加えるようにした。そして、型100を加熱するためのヒータブロック41を、型取付部材90によって緩衝材91A、91Bに挟み込まれた状態で保持するようにした。また、超音波ホーン72と、ヒータブロック41とを、高温ハンダ、銀ロウ等の接合剤を介して接合するようにしても良い。【選択図】図11
Claim (excerpt)：
加工対象物に所定のパターンを形成するための型と、
前記加工対象物に前記型を押し付けるプレス機構と、
前記型に振動を加える加振機構と、
前記加振機構に設けられ、前記型を加熱するヒータと、を備え、
前記加振機構と前記ヒータとが、少なくとも前記ヒータが前記型を加熱する際に生じる温度以上の耐熱性を有する接合剤によって接合されていることを特徴とするパターン形成装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (21)：
4F209AA28
, 4F209AA40
, 4F209AD03
, 4F209AD04
, 4F209AD05
, 4F209AD08
, 4F209AD20
, 4F209AF00
, 4F209AG01
, 4F209AG03
, 4F209AG05
, 4F209AH36
, 4F209AK03
, 4F209AK08
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PC01
, 4F209PC05
, 4F209PG05
, 4F209PN11
, 4F209PQ11
