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J-GLOBAL ID:200903017524388389
電熱ヒータ構造およびその製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
永田 武三郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000086630
Publication number (International publication number):2001273973
Application date: Mar. 27, 2000
Publication date: Oct. 05, 2001
Summary:
【要約】【課題】 クリーン度の向上、ヒータ熱輻射効率の向上およびサイズの設計自由化を可能とした電熱ヒータ構造とその製造方法を提供する。【解決手段】 板状の断熱体A1に、一方の板面から電熱コイルBを嵌め込める溝部1aと、この溝部に連通すると共にコイル嵌め込み深さを規制し、かつコイルの熱を他方の板面から外部に放出する放熱溝1bと、前記溝部1aの内面に設けた電熱コイルのコイル部分の受け入れ凹所1cとでなる複数の貫通溝穴1を形成し、板状断熱体A1の電熱コイル嵌め込み側に断熱体A2を蓋体として重ね合わせて構成する。
Claim (excerpt):
重ねて組み付けられる板状の断熱体のうち、一方の板状断熱体に、断面形状が一方の板面から電熱コイルを嵌め込める溝部と、その溝部に連通すると共にコイルの嵌め込み深さを規制し、かつ電熱コイルの熱を他方の板面から外部に放出する放熱溝部とでなる貫通溝穴が複数設けられており、前記板状断熱体の電熱コイル嵌め込み側に他方の板状断熱体が蓋体として重ね合わされていることを特徴とする電熱ヒータ構造。
F-Term (14):
3K034AA13
, 3K034BB04
, 3K034BB06
, 3K034BB10
, 3K034BB14
, 3K034BC05
, 3K034BC08
, 3K034BC15
, 3K034BC16
, 3K034FA26
, 3K034FA27
, 3K034HA01
, 3K034HA10
, 3K034JA01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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特開昭63-069184
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特許第2903131号
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特許第2652266号
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電気ヒ-タ及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-091511
Applicant:貞徳舎株式会社
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特開平4-014788
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加熱体及びこれを用いた半導体製造装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-240472
Applicant:信越化学工業株式会社
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特開昭60-246582
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