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J-GLOBAL ID：200903017532534807

慣性力センサ

Inventor： 田畑 修 ,  島岡 敬一 ,  藤塚 徳夫
Applicant, Patent owner： 株式会社豊田中央研究所
Agent (1)： 吉田 研二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993231301
Publication number (International publication number)：1995083666
Application date： Sep. 17, 1993
Publication date： Mar. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 角速度及び加速度をともに精度よく検出可能な慣性力センサを提供する。【構成】 重り部12をX軸方向に加振する。Y軸回りに加速度が加わると、これによってより重り部12がZ軸方向に振動する。Z軸方向の加速度が加わると重り部12がZ軸方向に変位する。変位検出回路30は、重り部12と下部電極21及び上部電極25の間の静電容量の変化の検出により、重り部12のZ軸方向の変位を検出する。サーボ回路34は、重り部12のZ軸方向変位又はその低周波成分が0となるようサーボ信号を発生させ、力発生回路32はこのサーボ信号に応じ重り部12と下部電極21及び上部電極25との間に加わる電圧を変化させる。周波数弁別回路36は、サーボ回路34から出力されるサーボ信号(及び変位検出回路30によって検出される変位)から、Y軸回りの角速度を示す成分とZ軸方向の加速度を示す成分とを弁別して出力する。

Claim (excerpt)：

X軸方向及びこれに直交するZ軸方向に振動可能に、かつX軸及びZ軸に直交するY軸回りに回転可能に、支持された重り部と、重り部をX軸方向に振動させる手段と、重り部のZ軸方向変位を計測する手段と、サーボ信号に応じ重り部にZ軸方向の力を加える手段と、重り部のZ軸方向変位が0となるよう上記計測結果に応じてサーボ信号を発生させる手段と、サーボ信号から高周波成分と低周波成分を弁別して出力する手段と、を備え、重り部に加わったZ軸方向加速度の変化を上記低周波成分として、重り部に加わったY軸回りの角速度を上記高周波成分として、それぞれ検出することを特徴とする慣性力センサ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 角速度・加速度検出装置および自動車の制御装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-011098   Applicant：株式会社日立製作所, 日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
• 多軸振動モノリシックジャイロスコープ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-301707   Applicant：モトローラ・インコーポレイテッド